Ηλεκτρική αγνότητα 99,95% αερίου C4F6 αέριο χάραξης για την επεξεργασία ημιαγωγών

C4F6 αγνότητα 99,95% αέριο χάραξης για την επεξεργασία ημιαγωγών

Περιγραφή:

hexafluoro-1,3-βουταδιένιο (C4F6) το ξηρό αέριο χαρακτικής αυτό έχει αναπτυχθεί στη Ρωσία. C4F6 επιτρέπει ξηρά χαρακτική σε ένα πλάτος γραμμών τόσο στενού όπως 90 NM ή λιγότεροι. Είναι επομένως αναπόφευκτο για το σύστημα LSIs επεξεργασίας και τη μεγάλη ταχύτητα, large-capacity συσκευές μνήμης που όλο και περισσότερο χρησιμοποιώ στις ψηφιακές ηλεκτρικές συσκευές και τις υγρές επιδείξεις κρυστάλλου.

Fluorocarbon τα αέρια χρησιμοποιούνται ευρέως για την ταινία οξειδίων πυριτίου επεξεργασίας. Έναντι του octafluorocyclobutane (C4F8) που χρησιμοποιείται αυτήν την περίοδο για την επεξεργασία στο πλάτος γραμμών 130 NM, C4F6 έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

ΤΥΠΟΠΟΙΗΜΕΝΗ ΣΥΣΚΕΥΑΣΙΑ ΠΛΗΡΟΦΟΡΊΑ-ΑΣΙΑ ΚΑΙ ΒΟΡΕΙΑ ΑΜΕΡΙΚΉ

Εφαρμογές:

1. Μπορεί να χρησιμοποιήσει φθόριο-βασισμένος στη χαρακτική.

2. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιήσει στον καθαρισμό των αερίων,

3. C4F6 μπορεί να χρησιμοποιήσει ως organometallic ταινία διαμορφώνοντας τα αέρια,