Οξυγόνο μιγμάτων αερίου ειδικότητας Ο2 και CF4 αερίου UHP με τον κατασκευαστή μιγμάτων Tetrafluoromethane

Οξυγόνο μιγμάτων αερίου ειδικότητας Ο2 και CF4 αερίου UHP με τον κατασκευαστή μιγμάτων Tetrafluoromethane

Περιγραφή:

Ανισότροπο etch.control. Άλλα halocarbons, καθώς επίσης και η παρουσία αέρα ή οξυγόνου, είναι καταστρεπτικά στον έλεγχο των αποτελεσμάτων theTetrafluoride στον ανώτερο έλεγχο της διαδικασίας, η οποία οδηγεί καλύτερους σε διαστατικό και το σχεδιάγραμμα. Μια υψηλότερη αγνότητα Carbonor CF2conditions, το φθόριο που οι ελεύθεροι ριζοσπάστες είναι χαρακτηριστικά υπό μορφή τετραφθορίδιου CF3Carbon είναι σχετικά αδρανής υπό τους κανονικούς όρους και είναι asphyxiant. Κάτω από το RF plasmaprocesses. Το τετραφθορίδιο άνθρακα χρησιμοποιείται με το οξυγόνο για να χαράξει το πολυπυρίτιο, το διοξείδιο πυριτίου, και το νιτρίδιο πυριτίου. Το τετραφθορίδιο άνθρακα είναι μια πηγή φθοριδίου φθορίου ή άνθρακα που οι ελεύθεροι ριζοσπάστες που χρησιμοποιούνται σε ποικίλη γκοφρέτα χαράζουν

Προδιαγραφές:

1. Σωματικές ιδιότητες

2. Χαρακτηριστικάτεχνικάστοιχεία(COA)

Εφαρμογές: