Τόπος καταγωγής: | Κίνα |
---|---|
Μάρκα: | Newradar Gas |
Πιστοποίηση: | ISO/DOT/GB |
Αριθμό μοντέλου: | ΑΠΡΟΣΔΙΟΡΙΣΤΟΣ |
Ποσότητα παραγγελίας min: | 1000 λίτρα |
Τιμή: | negotiation |
Συσκευασία λεπτομέρειες: | 10kg, 40kg ή 50kg που συσκευάζεται στον κατάλληλο κύλινδρο αερίου ή που συσκευάζεται σύμφωνα με τις |
Χρόνος παράδοσης: | 15-25 οι εργάσιμες ημέρες μετά από έλαβαν την πληρωμή σας |
Όροι πληρωμής: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
Δυνατότητα προσφοράς: | 3,00 κυβικό μέτρο το μήνα |
Εφαρμογή: | 248nm διαδικασία λιθογραφίας και μικτός με το αλόγονο που χρησιμοποιεί τα μικτά αέρια | CF4: | tetrafluoromethane |
---|---|---|---|
Η.Ε αριθ.: | 1982 | Οξυγόνο: | Ο2 |
Συσκευασία:: | άνευ ραφής κύλινδροι χάλυβα | Άλλα ονόματα: | Μίγμα τετραφθορίδιων άνθρακα οξυγόνου |
Εμφάνιση:: | Άχρωμο αέριο | Όγκος κυλίνδρων:: | 10L, 25L, 40L ή 50L |
Πρότυπα βαθμού: | Βαθμός βαθμού ηλεκτρονίων | Τοξικός: | Μη τοξικός |
Υψηλό φως: | αέρια ειδικότητας liquide αέρα,ειδικά αέρια |
Οξυγόνο μιγμάτων αερίου ειδικότητας Ο2 και CF4 αερίου UHP με τον κατασκευαστή μιγμάτων Tetrafluoromethane
Περιγραφή:
Ανισότροπο etch.control. Άλλα halocarbons, καθώς επίσης και η παρουσία αέρα ή οξυγόνου, είναι καταστρεπτικά στον έλεγχο των αποτελεσμάτων theTetrafluoride στον ανώτερο έλεγχο της διαδικασίας, η οποία οδηγεί καλύτερους σε διαστατικό και το σχεδιάγραμμα. Μια υψηλότερη αγνότητα Carbonor CF2conditions, το φθόριο που οι ελεύθεροι ριζοσπάστες είναι χαρακτηριστικά υπό μορφή τετραφθορίδιου CF3Carbon είναι σχετικά αδρανής υπό τους κανονικούς όρους και είναι asphyxiant. Κάτω από το RF plasmaprocesses. Το τετραφθορίδιο άνθρακα χρησιμοποιείται με το οξυγόνο για να χαράξει το πολυπυρίτιο, το διοξείδιο πυριτίου, και το νιτρίδιο πυριτίου. Το τετραφθορίδιο άνθρακα είναι μια πηγή φθοριδίου φθορίου ή άνθρακα που οι ελεύθεροι ριζοσπάστες που χρησιμοποιούνται σε ποικίλη γκοφρέτα χαράζουν
Προδιαγραφές:
1. Σωματικές ιδιότητες
Σημαντικά συστατικά | ||
ΣΥΣΤΑΤΙΚΑ | ΣΥΓΚΕΝΤΡΩΣΗ | ΣΕΙΡΑ |
Ο2 | 20% | 19.9-20.1% |
CF4 | Ισορροπία |
2. Χαρακτηριστικάτεχνικάστοιχεία(COA)
Μέγιστες ακαθαρσίες | |
ΣΥΣΤΑΤΙΚΑ | ΣΥΓΚΕΝΤΡΩΣΗ (PPM) |
Διοξείδιο του άνθρακα (CO2) | <1> |
Μονοξείδιο του άνθρακα (κοβάλτιο) | <1> |
Υγρασία (H2O) | <0> |
Άζωτο (Ν2) | <10> |
Οξυγόνο (Ο2) | <5> |
THC (ως μεθάνιο) (CH4) | <0> |
Άλλα Halocarbons | <1> |
Hexafluoride θείου | <1> |
Κύλινδρος Specifications* | Περιεχόμενο | Πίεση | |||
Κύλινδρος | Επιλογές εξόδου βαλβίδων | Λίβρες | PSIG | ΦΡΑΓΜΟΣ | |
2 | CGA 580 | DISS 716 | 70 | 2000 | 139 |
Εφαρμογές:
1 |
Το Tetrafluoromethane χρησιμοποιείται μερικές φορές ως ψυκτική ουσία χαμηλής θερμοκρασίας.
|
2 |
Χρησιμοποιείται στο microfabrication ηλεκτρονικής μόνο ή σε σχέση με με το οξυγόνο ως πλάσμα etchant για το πυρίτιο, το διοξείδιο πυριτίου, και το νιτρίδιο πυριτίου.
|
3 |
Έχει επίσης τις χρήσεις στους ανιχνευτές νετρονίων
|