C4F6 ηλεκτρονικά αέρια για τις ψηφιακές ηλεκτρικές συσκευές/τις υγρές επιδείξεις κρυστάλλου

Αέριο C4F6 που χρησιμοποιείται στις ψηφιακές ηλεκτρικές συσκευές και τις υγρές επιδείξεις κρυστάλλου

Περιγραφή:

Στο μόριο C4F6 το Γ: Η αναλογία Φ είναι αρκετά υψηλή να ελέγξει το ποσό πολυμερούς σώματος στην επιφάνεια αιθουσών και την επιφάνεια γκοφρετών όσον αφορά τους ριζοσπάστες χαρακτικής Φ. Σημαντικότερος είναι, ότι το εγγενές χαρακτηριστικό επιτρέπει την υψηλή επιλεκτικότητα στα υποστρώματα ή η φωτογραφία αντιστέκεται και ευρύτερα παράθυρα διαδικασίας έναντι π.χ. C4F8 (Octafluorobutane). Αυτή η συμπεριφορά είναι ιδιαίτερα ευεργετική να καλύψει την ανάγκη για υπο- 0,25 απαιτήσεις μ.

Σε χρησιμοποίηση του αργού ως νιτρίδιο αερίου μεταφορέων η επιλεκτικότητα μπορεί να οδηγήσει σε μια μειωμένος λειτουργία. Ξένο ως άλλο πιθανό αέριο μεταφορέων έχει μια αυξανόμενη επιλεκτικότητα. Επομένως τα μίγματα από Ar/Xe είναι ένας καλός συμβιβασμός.

Αγορές & εφαρμογές

ΤΟΞΙΚΟΛΟΓΙΚΕΣ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΕΣ

Εφαρμογές:

1. C4F6 προτείνεται για τη χρήση στο πλάσμα, ιονική ακτίνα ή ψεκάζει χαρακτική στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών.

2. Ιδιαίτερα τα σημαντικά αποτελέσματα έχουν παρατηρηθεί στο πλάσμα διηλεκτρική χαρακτική με Xe και το AR ως αέριο μεταφορέων και dilutants. Στο πλάσμα διηλεκτρική χαρακτική είναι σημαντικό να ελεγχθούν οι χημείες πλάσματος προκειμένου να ισορροπήσει χαρακτική και είδη απόθεσης.