Η ηλεκτρονική χημεία αερίων Hexafluorobutadiene C4F6 για κρίσιμο διηλεκτρικό χαράζει

Η χημεία αερίου Hexafluorobutadiene C4F6 για κρίσιμο διηλεκτρικό χαράζει τις εφαρμογές.

Περιγραφή:

C4F6 είναι ακόρεστο fluorocarbon με έναν εναλλασσόμενο διπλό δεσμό. Είναι ένα άχρωμο, odorless, τοξικό, εύφλεκτο αέριο που παρουσιάζει πολύ υψηλή επίδοση για το πλάσμα, ιονική ακτίνα, ή ψεκάζει χαρακτική στις συσκευές ημιαγωγών κατασκευαστικός με ξένο (Xe) και το αργό (AR) ως αέριο μεταφορέων ή διαλύσεων. Λόγω της σύντομης ατμοσφαιρικής διάρκειας ζωής (< 1day="">

Το butadine Hexafluoro1,3 ‐ είναι ένα τοξικό, άχρωμο, odorless, εύφλεκτο υγροποιημένο συμπιεσμένο αέριο.

Το αέριο C4F6 ως etchant αέριο για έναν υψηλό λόγο διάστασης τρύπα χαρακτική επαφών μπορεί να είναι ένα αγαθό

εναλλακτική λύση των αερίων PFC.

ΣΤΑΘΕΡΟΤΗΤΑ ΚΑΙ ΙΚΑΝΟΤΗΤΑ ΑΜΈΣΟΥ ΑΝΤΙΔΡΆΣΕΩΣ

Εφαρμογές:

1. Το αέριο HFB (C4F6) μπορεί να χρησιμοποιήσει ως προϊόντα καθαρισμού, waste-gas τρίφτες επεξεργασίας

2. Hexafluoro-2 τμήματα αερίου για τον εξοπλισμό επικοινωνιών οπτικής ίνας.

3. Είναι επομένως αναπόφευκτο για το σύστημα LSIs επεξεργασίας και τη μεγάλη ταχύτητα, large-capacity συσκευές μνήμης που όλο και περισσότερο χρησιμοποιώ στις ψηφιακές ηλεκτρικές συσκευές και τις υγρές επιδείξεις κρυστάλλου.