Fluorocarbon-βασισμένο πλάσμα αερίου C4F6 99,995% υψηλής αγνότητας που χαράζει το άχρωμο αέριο

Υψηλή αγνότητα C4F6 gas99.995%, χρήση στο fluorocarbon-βασισμένο πλάσμα χαρακτική

Περιγραφή:

Το ξηρό αέριο χαρακτικής HFB, C4F6 αυτό έχει αναπτυχθεί στη Ρωσία. C4F6 επιτρέπει ξηρά χαρακτική σε ένα πλάτος γραμμών τόσο στενού όπως 90 NM ή λιγότεροι. Είναι επομένως αναπόφευκτο για το σύστημα LSIs επεξεργασίας και τη μεγάλη ταχύτητα, large-capacity συσκευές μνήμης που όλο και περισσότερο χρησιμοποιώ στις ψηφιακές ηλεκτρικές συσκευές και τις υγρές επιδείξεις κρυστάλλου.

Fluorocarbon τα αέρια χρησιμοποιούνται ευρέως για την ταινία οξειδίων πυριτίου επεξεργασίας. Έναντι του octafluorocyclobutane (C4F8) που χρησιμοποιείται αυτήν την περίοδο για την επεξεργασία στο πλάτος γραμμών 130 NM, C4F6 έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

1.High λόγος διάστασης, με συνέπεια τα στενά και βαθιά αυλάκια (κατάλληλα για στο πολύ στενό πλάτος γραμμών)

2.High επιλεκτικότητα (εξασφαλίζει χαρακτική της ταινίας οξειδίων πυριτίου μόνο δεν έχει επιπτώσεις photoresist, το υπόστρωμα πυριτίου ή την ταινία νιτριδίων)

ΜΕΤΡΑ ΠΡΟΣΒΟΛΗΣ ΤΟΥ ΠΥΡΌΣ

ΜΕΤΡΑ ΠΡΩΤΩΝ ΒΟΗΘΕΙΏΝ

Εφαρμογές:

1.C4F6 μπορεί να χρησιμοποιήσει ως organometallic ταινία διαμορφώνοντας τα αέρια,

2. Το αέριο HFB (C4F6) μπορεί να χρησιμοποιήσει ως προϊόντα καθαρισμού, waste-gas τρίφτες επεξεργασίας