99.9% αγνότητα συν τα αέρια hexafluoro-2-Butyne ειδικότητας για τη βιομηχανία ημιαγωγών

Αγνότητα 99,9% hexafluoro-2, χρήση στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Περιγραφή:

Το butadine Hexafluoro1,3 ‐ είναι ένα τοξικό, άχρωμο, odorless, εύφλεκτο υγροποιημένο συμπιεσμένο αέριο.

Το αέριο C4F6 ως etchant αέριο για έναν υψηλό λόγο διάστασης τρύπα χαρακτική επαφών μπορεί να είναι ένα αγαθό

εναλλακτική λύση των αερίων PFC.

hexafluoro-1,3-βουταδιένιο (C4F6) το ξηρό αέριο χαρακτικής αυτό έχει αναπτυχθεί στη Ρωσία. C4F6 επιτρέπει ξηρά χαρακτική σε ένα πλάτος γραμμών τόσο στενού όπως 90 NM ή λιγότεροι. Είναι επομένως αναπόφευκτο για το σύστημα LSIs επεξεργασίας και τη μεγάλη ταχύτητα, large-capacity συσκευές μνήμης που όλο και περισσότερο χρησιμοποιώ στις ψηφιακές ηλεκτρικές συσκευές και τις υγρές επιδείξεις κρυστάλλου.

Fluorocarbon τα αέρια χρησιμοποιούνται ευρέως για την ταινία οξειδίων πυριτίου επεξεργασίας. Έναντι του octafluorocyclobutane (C4F8) που χρησιμοποιείται αυτήν την περίοδο για την επεξεργασία στο πλάτος γραμμών 130 NM, C4F6 έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

1.Very χαμηλό περιβαλλοντικό φορτίο όπως αποσυντίθεται σε λιγότερο από δύο ημέρες στην ατμόσφαιρα (έναντι 3.200 ετών για C4F8)

2.Therefore, χρήσιμα ως εναλλακτική λύση στα perfluorocarbons με την υψηλή σφαιρική δυνατότητα θέρμανσης.

3.High λόγος διάστασης, με συνέπεια τα στενά και βαθιά αυλάκια (κατάλληλα για στο πολύ στενό πλάτος γραμμών).

4.High επιλεκτικότητα (εξασφαλίζει χαρακτική της ταινίας οξειδίων πυριτίου μόνο δεν έχει επιπτώσεις photoresist, το υπόστρωμα πυριτίου ή την ταινία νιτριδίων)

Το Fysische

Εφαρμογές:

1. C4F6 μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί ως είδος μονομερούς.

2. Μπορεί να χρησιμοποιήσει στη λειτουργία υλικών επεξεργασίας ημιαγωγών