Οξυγόνο μιγμάτων 20% αερίου ειδικότητας των Η.Ε 1982 με το τετραφθορίδιο άνθρακα

Οξυγόνο μιγμάτων 20% αερίου ειδικότητας των Η.Ε 1982 με το τετραφθορίδιο άνθρακα

Περιγραφή:

Μίγματα αερίου ειδικότητας

Το τετραφθορίδιο άνθρακα είναι μια πηγή ελεύθερων ριζοσπαστών φθοριδίου φθορίου ή άνθρακα που χρησιμοποιούνται σε ποικίλη γκοφρέτα etchprocesses. Το τετραφθορίδιο άνθρακα χρησιμοποιείται με το οξυγόνο για να χαράξει το πολυπυρίτιο, το διοξείδιο πυριτίου, και το νιτρίδιο πυριτίου.

Το τετραφθορίδιο άνθρακα είναι σχετικά αδρανές υπό τους κανονικούς όρους και είναι asphyxiant. Υπό τους όρους πλάσματος RF, οι ελεύθεροι ριζοσπάστες φθορίου είναι χαρακτηριστικά υπό μορφή CF3

ή CF2. Μια υψηλότερη αγνότητα CarbonTetrafluoride οδηγεί στον ανώτερο έλεγχο της διαδικασίας, η οποία οδηγεί στον καλύτερο διαστατικό και έλεγχο σχεδιαγράμματος.

Άλλα halocarbons, καθώς επίσης και η παρουσία αέρα ή οξυγόνου, είναι καταστρεπτικά στον έλεγχο του ανισότροπου χαράζουν.

Προδιαγραφές:

1. Σωματικές ιδιότητες

2. Χαρακτηριστικάτεχνικάστοιχεία(COA)

Εφαρμογές: