Άχρωμο hexafluoro-1,3-βουταδιένιο αερίου κυλίνδρων αγνότητας αερίων 44L 99,95% C4F6 ηλεκτρονικό

C4F6 αέριο χαρακτικής για την επεξεργασία ημιαγωγών

Περιγραφή:

C4F6 (hexafluoro-1,3-βουταδιένιο) χρησιμοποιείται γιατί διηλεκτρικός χαράξτε τις εφαρμογές. Το hexafluoro-1,3-βουταδιένιο είναι ένα τοξικό, άχρωμο, odorless, εύφλεκτο υγροποιημένο συμπιεσμένο αέριο.

Συσκευασία: 44~49L κύλινδρος, βαλβίδα CGA350 SS

Γεμίζοντας περιεχόμενο: 20kg/cyl

C4F6, είναι ένα φιλικό προς το περιβάλλον, υψηλής απόδοσης αέριο ειδικότητας επεξεργασίας ημιαγωγών αυτό
παρέχει ότι υψηλός χαράξτε τα ποσοστά, τον καλό λόγο διάστασης έλεγχος και την υψηλή επιλεκτικότητα
photoresist κρίσιμο σε διηλεκτρικό χαράζει τις εφαρμογές.

Το αέριο C4F6 βελτιώνει διηλεκτρικό χαράζει τα αποτελέσματα διαδικασίας σε πολλές βασικές περιοχές επεξεργασίας, συμπεριλαμβανομένων των διπλών εφαρμογών damascene χαλκού και των χαμηλών διηλεκτρικών υλικών Κ για 0,13 μικρά και πέρα από τα σχέδια τσιπ. Το Sifren 46 επίσης παρέχει τα περιβαλλοντικά πλεονεκτήματα στις χαμηλές σφαιρικές εκπομπές θέρμανσης και μηδέν
δυνατότητα μείωσης όζοντος.

ΦΥΣΙΚΕΣ ΚΑΙ ΧΗΜΙΚΕΣ ΙΔΙΟΤΗΤΕΣ

ΤΥΠΟΠΟΙΗΜΕΝΗ ΣΥΣΚΕΥΑΣΙΑ ΠΛΗΡΟΦΟΡΊΑ-ΑΣΙΑ ΚΑΙ ΒΟΡΕΙΑ ΑΜΕΡΙΚΉ

Εφαρμογές:

1. Διαδικασίες χαρακτικής πλάσματος για τις υπο--τέταρτες συσκευές μικρού.

2. Εναλλακτικά πλάσματα αερίου Perfluorocarbon

3. Χρησιμοποιημένος στα TFT-LCD και το photovoltaics.