Τα Odorless C4F6 προϊόντα αερίου αερίου φιλικά προς το περιβάλλον καθαρά για χαράζουν τη χημεία

C4F6 το φιλικό προς το περιβάλλον αέριο αερίου για χαράζει τη χημεία

Περιγραφή:

Hexafluoro-1,3-βουταδιένιο (C4F6) είναι σχετικά ένας νέος χαράζει το αέριο για την κατασκευή των συσκευών ημιαγωγών, ειδικά σε κρίσιμο χαράξτε τις διαδικασίες που χρειάζονται τους υψηλούς λόγους διάστασης και την επιλεκτικότητα. Είναι σε θέση να συνδυάσει πολύ τη υψηλή επίδοση με μια καλοκάγαθη περιβαλλοντική επίπτωση. Αυτό το αέριο έχει διατεθεί σε μια βιομηχανική κλίμακα μόνο πρόσφατα και αισθανθήκαμε την ανάγκη να αυξήσουμε τα στοιχεία στην κατοχή μας στη συμπεριφορά της και στην αίθουσα πλάσματος και στα συστήματα παράδοσης αερίου.

Ιονικές εντάσεις, και απόλυτες συνολικές ιονικές πυκνότητες ρεύματος που μετριούνται και για την απαλλαγή που παράγεται σε καθαρό C4F6 και στο μίγμα με το αργό. Επιπλέον, η αναλογία των ριζικών πυκνοτήτων σχετικά με το ΘΦ που μετριέται χρησιμοποιώντας τη sub-millimeter φασματοσκοπία απορρόφησης και οι οπτικές μετρήσεις φασματοσκοπίας εκπομπής παρουσιάζονται για διάφορες πιέσεις αερίου και αναλογίες μιγμάτων αερίου. Μια σύγκριση με γ-C4F8 γίνεται.

Η υλική συμβατότητα αυτού του αερίου, τα οποία επιδεικνύουν πώς αυτό το “εξωτικό” αέριο μπορεί να αντιμετωπιστεί με τα τυποποιημένα υλικά. Τα σημαντικότερα οφέλη C4F6 δηλητηριάζουν με αέρια γίνοντας εμφανή από την καταδειγμένη απόδοσή του για μια σειρά της όλο και περισσότερο απαίτησης προηγμένης χαράζουν τις διαδικασίες που απαιτούν τη συνακόλουθη υψηλή επιλεκτικότητα photoresists 193 NM, hardmasks, και ποικίλα underlayers συντηρώντας τον κρίσιμο έλεγχο διάστασης και σχεδιαγράμματος. Τα πλεονεκτήματα C4F6 που βασίζονται χαράζουν τις διαδικασίες, όπως ο υψηλός λόγος διάστασης επαφή/μέσω χαράξτε, υψηλή μάσκα επιλεκτικότητας ανοικτή, και το διπλό damascene χαράζει τις διαδικασίες, που αναπτύσσονται τα εφαρμοσμένα υλικά διηλεκτρικό etcher, και οι αναλύσεις των στοιχείων εκπομπών PFC συζητούνται.

ΣΤΑΘΕΡΟΤΗΤΑ ΚΑΙ ΙΚΑΝΟΤΗΤΑ ΑΜΈΣΟΥ ΑΝΤΙΔΡΆΣΕΩΣ

ΤΟΞΙΚΟΛΟΓΙΚΕΣ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΕΣ

Εφαρμογές:

1. Μια νέα γενιά του αερίου χαρακτικής ημιαγωγών.

2.Perfluorocarbon τα εναλλακτικά πλάσματα αερίου για την τρύπα επαφών χαράζουν.

3.Plasma διαδικασίες χαρακτικής για τις υπο--τέταρτες συσκευές μικρού: